氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣,因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕?/span>
1、氦氣在空氣中的含量少,只占約二十萬(wàn)分之一,易于發(fā)現(xiàn);
2、氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、比其它氣體易穿越漏孔;
3、氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;
4、氦氣是無(wú)毒、無(wú)味,對(duì)大氣零污染。
5、氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷設(shè)備;
6、氦氣無(wú)毒,不凝結(jié),難容于水。
正因?yàn)楹饩哂幸陨咸匦裕院鈾z漏應(yīng)用已從科研院所到工業(yè)企業(yè)乃至到個(gè)體企業(yè),可以說(shuō)應(yīng)用領(lǐng)域其寬廣